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電商MRO供應(yīng)鏈德國optrisc歐普士單體CSmicro在西門子工藝中使用紅外測溫儀實(shí)現(xiàn)可靠的硅溫度讀數(shù)
日期：2025-05-01 02:25
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摘要：在西門子工藝中使用紅外測溫儀實(shí)現(xiàn)可靠的硅溫度讀數(shù)
硅的發(fā)射率隨溫度、波長和表面特性的變化而變化，從而在不同光譜范圍內(nèi)產(chǎn)生復(fù)雜的動態(tài)行為。為了可靠地測量硅的溫度，建議使用 1 μm 左右的短紅外波長，因?yàn)樵谶@種波長下，盡管溫度發(fā)生變化，硅的發(fā)射率仍然保持穩(wěn)定。雙色測溫儀具有優(yōu)勢，因?yàn)樗鼈儾恍枰畛湔麄€視場來測量棒溫。當(dāng)存在氫氣時，雙色測溫儀可與防爆外殼一起使用。
光纖 CTratio 雙色測溫儀可有效測量基底或沉積多晶硅薄膜的溫度。這些兩件式測溫儀結(jié)構(gòu)緊湊，配備有柔性光纖，可安裝在狹窄或難以觸及的區(qū)域。其設(shè)計(jì)...
在西門子工藝中使用紅外測溫儀實(shí)現(xiàn)可靠的硅溫度讀數(shù)
硅的發(fā)射率隨溫度、波長和表面特性的變化而變化，從而在不同光譜范圍內(nèi)產(chǎn)生復(fù)雜的動態(tài)行為。為了可靠地測量硅的溫度，建議使用 1 μm 左右的短紅外波長，因?yàn)樵谶@種波長下，盡管溫度發(fā)生變化，硅的發(fā)射率仍然保持穩(wěn)定。雙色測溫儀具有優(yōu)勢，因?yàn)樗鼈儾恍枰畛湔麄€視場來測量棒溫。當(dāng)存在氫氣時，雙色測溫儀可與防爆外殼一起使用。
光纖 CTratio 雙色測溫儀可有效測量基底或沉積多晶硅薄膜的溫度。這些兩件式測溫儀結(jié)構(gòu)緊湊，配備有柔性光纖，可安裝在狹窄或難以觸及的區(qū)域。其設(shè)計(jì)可承受惡劣的工作條件，包括高溫、振動和化學(xué)接觸。比色技術(shù)通過比較兩種不同波長光的強(qiáng)度來提供**的溫度測量，從而減少因發(fā)射率變化、光學(xué)干擾或光路阻尼等因素造成的誤差。
不過，有些設(shè)備還是傾向于使用單色測溫儀，因?yàn)閱紊珳y溫儀只測量單一波長，可能會受到發(fā)射率變化的影響。他們追求的是西門子過程的可重復(fù)性，而不是**的溫度。然而，在雙色裝置中，智能比率模式可以讓測溫儀了解發(fā)射率或比率的變化，即使兩個波長的發(fā)射率變化不一致，也能確保測量的準(zhǔn)確性。
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2025/4/24
