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光敏曝光機(jī) 曝光機(jī)參數(shù) MA-6701ML 日本曝光機(jī) DNK大日本科研
光敏曝光機(jī) 曝光機(jī)參數(shù) MA-6701ML 日本曝光機(jī) DNK大日本科研
光敏曝光機(jī) 曝光機(jī)參數(shù) MA-6701ML 日本曝光機(jī) DNK大日本科研
DSMRO012
這是一種垂直接近式曝光機(jī)，通過(guò)使掩模和基板垂直來(lái)減少偏轉(zhuǎn)。它還支持內(nèi)嵌水平輸送式前后處理設(shè)備。
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垂直放置掩模架/基板臺(tái)。掩模/掩模支架/基板臺(tái)自重偏轉(zhuǎn)校正變得不必要，實(shí)現(xiàn)了簡(jiǎn)單和穩(wěn)定的裝置。
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新通過(guò)該光學(xué)系統(tǒng)的，變得小于一半二偏角通常影響圖案轉(zhuǎn)印精度（相），更高的準(zhǔn)確度可以是圖案轉(zhuǎn)移。
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完全分離主機(jī)和光源單元。通過(guò)不將光源的熱量傳遞至主體的結(jié)構(gòu)，主體的熱量分布得以改善。
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為了防止由于掩模和玻璃基板的溫度差異引起的膨脹和收縮，可以選擇基板臺(tái)溫度控制和掩模冷卻系統(tǒng)。（可選）
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*大的電路板尺寸是1,200毫米×1,400毫米。而且，可以用獨(dú)特的光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行統(tǒng)一的一體式曝光。
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可以安裝能夠存儲(chǔ)5個(gè)掩模的掩模庫(kù)。
MA-6701ML
MA-6801ML
MA-6131ML
底物大小
550 x 650毫米
650 x 750毫米
1100 x 1300毫米
面膜大小
620 x 720 x t 8.0毫米
700 x 800 x t 8.0毫米
1200 x 1400 x t 4.8毫米
對(duì)準(zhǔn)
非接觸預(yù)校準(zhǔn)?可以自動(dòng)校準(zhǔn)
差距
具有感應(yīng)功能
光源
超高壓汞燈：8千瓦
超高壓汞燈：8千瓦
超高壓汞燈：18千瓦
外部尺寸和重量
身體尺寸
W 3500×D 2720×H 2700毫米
W4150×D3200×H2900毫米
W 11300×D 7060×H 3350mm
體重
3500公斤
3800公斤
12700公斤
光源重量
800公斤
1150公斤
4200公斤
選項(xiàng)
面罩冷卻，基板平臺(tái)溫度控制，熱室，特殊對(duì)準(zhǔn)照明
使用
觸摸屏，彩色濾光片，有機(jī)EL，C-STN，電子紙等
這是一種垂直接近式曝光機(jī)，通過(guò)使掩模和基板垂直來(lái)減少偏轉(zhuǎn)。它還支持內(nèi)嵌水平輸送式前后處理設(shè)備。
| MA-6701ML | MA-6801ML | MA-6131ML | |||
| 底物大小 | 550 x 650毫米 | 650 x 750毫米 | 1100 x 1300毫米 | ||
| 面膜大小 | 620 x 720 x t 8.0毫米 | 700 x 800 x t 8.0毫米 | 1200 x 1400 x t 4.8毫米 | ||
| 對(duì)準(zhǔn) | 非接觸預(yù)校準(zhǔn)?可以自動(dòng)校準(zhǔn) | ||||
| 差距 | 具有感應(yīng)功能 | ||||
| 光源 | 超高壓汞燈：8千瓦 | 超高壓汞燈：8千瓦 | 超高壓汞燈：18千瓦 | ||
| 外部尺寸和重量 | 身體尺寸 | W 3500×D 2720×H 2700毫米 | W4150×D3200×H2900毫米 | W 11300×D 7060×H 3350mm | |
| 體重 | 3500公斤 | 3800公斤 | 12700公斤 | ||
| 光源重量 | 800公斤 | 1150公斤 | 4200公斤 | ||
| 選項(xiàng) | 面罩冷卻，基板平臺(tái)溫度控制，熱室，特殊對(duì)準(zhǔn)照明 | ||||
| 使用 | 觸摸屏，彩色濾光片，有機(jī)EL，C-STN，電子紙等 | ||||
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電商集團(tuán)（中國(guó)）有限公司成立于2009年，是香港電商集團(tuán)在中國(guó)的全資分公司，位于深圳市南山前海金融區(qū)，注冊(cè)資本壹億元，主營(yíng)業(yè)務(wù)涵蓋國(guó)際貿(mào)易、婦嬰用品、醫(yī)遼、汽車(chē)、酒店、百貨、投資理財(cái)、互聯(lián)網(wǎng)等領(lǐng)域。集團(tuán)在香港已建立完善的渠道網(wǎng)絡(luò)，豐富的領(lǐng)域資源，密切的政府協(xié)作，三大方面保障了公司業(yè)務(wù)的順利發(fā)展。秉承“行業(yè)多元化，水準(zhǔn)國(guó)際化，服務(wù)專業(yè)化”的“三化”服務(wù)理念，利用其國(guó)際化的專業(yè)知識(shí)體系、精細(xì)化的服務(wù)流程、高性能的服務(wù)水準(zhǔn)，為客戶提供高性價(jià)比的產(chǎn)品和全方位立體化解決方案。集團(tuán)的采購(gòu)商品來(lái)自美國(guó)、德國(guó)、瑞士、法國(guó)、意大利、日本、韓國(guó)，并建立了分公司，從而取得優(yōu)勢(shì)的產(chǎn)品貨源，以及*即時(shí)的產(chǎn)品訊息。集團(tuán)服務(wù)客戶已超過(guò)萬(wàn)家，并獲得了百家國(guó)際品牌授權(quán)代理。
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